載物臺(tái)

尺寸

4"（2"、6"、8"方案可選）

材質(zhì)

合金銅

表面處理

可選純金鍍層或沉鎳鍍層

平整度

<50µm@300℃

載物臺(tái)移動(dòng)基座（可選項(xiàng)）

X-Y軸行程范圍

4"*4"，根據(jù)載物臺(tái)尺寸可選更大行程，電動(dòng)控制系統(tǒng)可選

精度

1μm

R軸微調(diào)角度范圍

±9°

R軸微調(diào)精度

0.0001°/deg

Z軸細(xì)調(diào)行程范圍

13mm

細(xì)調(diào)精度

1μm

Z軸快升行程

350μm

Z軸往復(fù)精度

<1μm

溫度控制系統(tǒng)

溫度范圍

80k-573k

溫度精度

0.1℃

溫控精度

溫控精度0.1℃，連續(xù)變溫?zé)o節(jié)點(diǎn)。

溫度均勻性

0.1℃@4(100mm)載物臺(tái)。

加熱方式

電阻加熱

制冷方式

液氮制冷

杜瓦罐容量

80L自增壓液氮杜瓦罐

致冷劑消耗量

15L液態(tài)氮（室溫降至80k）

溫度擴(kuò)展范圍

4k-1073k

真空系統(tǒng)

真空度

10^-3mbar*（可配套分子泵組，達(dá)到更高的真空度10^-6mbar）

真空泵

旋片式雙級(jí)油封真空泵，可升級(jí)渦輪分子泵組

抽速

16m³/h

抽真空時(shí)間

5min（10^-3mbar）

真空焊接波紋管

三維彎曲大于25mm（定制參數(shù)）

法蘭

KF（更高真空度要求則使用CF）

真空腔體

腔體材質(zhì)

不銹鋼

觀察舷窗

紅外截止玻璃**

真空泵接口法蘭

KF25

液氮接口法蘭

KF25

點(diǎn)測(cè)系統(tǒng)

探針座數(shù)量

4個(gè)（最多8個(gè)，可根據(jù)需求定制）

探針夾具

4個(gè)（最多8個(gè)，可根據(jù)需求定制）

定位精度

5μm（可根據(jù)需求定制）

X-Y-Z軸移動(dòng)行程

25mm*25mm*25mm（可根據(jù)需求定制）

光學(xué)系統(tǒng)（體視顯微鏡）

光學(xué)放大倍數(shù)

15X-100X

變焦倍率

0.75X-5X（變倍比6X）

CCD

1/3”數(shù)字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口

顯微鏡旋臂

兩段式顯微鏡支架，可快速移動(dòng)定位顯微鏡

光學(xué)系統(tǒng)（單筒顯微鏡）

光學(xué)放大倍數(shù)

400X(21英寸顯示器)

變焦倍率

0.58X-7X（變倍比12X，超大變倍范圍）

CCD

1/3”數(shù)字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口

顯微鏡旋臂

兩段式顯微鏡支架，可快速移動(dòng)定位顯微鏡

顯微鏡移動(dòng)基座（可選項(xiàng)）

X-Y軸行程范圍

2"*2"，根據(jù)載物臺(tái)尺寸可選更大行程，電動(dòng)控制系統(tǒng)可選

精度

1μm

防震臺(tái)

隔震方式

氣囊式防震臺(tái)

固有頻率

1.2Hz（水平），1.5Hz（水平）

樣品振動(dòng)

<300nm（真空泵工作時(shí)）