高純四氟化碳(交易信息.qiti88.免費信息)相關參數

序號	名稱	化學式	純度(%)	壓力(Mpa)	充裝量(m3/kg)	閥門|螺紋出口	鋼瓶容積(L)	鋼瓶尺寸(cm)	鋼瓶皮重(kg)
1	四氟化碳/R14	CF4	99.999	4	28公斤	PX-32|G5/8	40	29×145	50
2	四氟化碳/R14	CF4	99.999	4	30公斤	CGA580	44	29×145	53
3	四氟化碳/R14	CF4	99.999	4	5公斤	PX-32|G5/8	8	22×70	10

產品分類：四氟化碳
純度：99.999%（5N）
包裝：鋼質無縫氣瓶
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
分子式：CH4


其它參數：
摩爾質量     88.00 g·mol¹
外觀     無色無味氣體
密度     3.72 g/l, 氣體 (15 °C)
熔點     -183.6 °C (89.6 K)
沸點     -127.8 °C (145.4 K)
溶解性（水）     0.005 %V, 20 °C
0.0038 %V, 25 °C
蒸氣壓     3.65 MPa, 15 °C
106.5 kPa, -127 °C
氣相標準熵(J·mol·K) ：261.40
氣相標準熱熔(J·mol·K)：61.05
標準摩爾生成焓-932.31 kJ/mol，
標準摩爾生成熵261.04J/（mol﹒K），
標準摩爾自由能-929.84 kJ/mol，
標準摩爾生成自由能-887.41 kJ/mol


用途：
四氟化碳有時會用作低溫冷卻劑。它可用于電路板的制造，以及制造絕緣物質和半導體。它是用作氣體蝕刻劑及等離子體蝕刻版。對于硅和二氧化硅體系，采用CF4-H2反應離子刻蝕時，通過調節兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。 　


武漢紐瑞德特種氣體有限公司供應高純5N四氟化碳氣體,四氟化碳純度99.999%。全網最優惠四氟化碳價格�。ㄋ姆�化碳全國服務熱線:400-6277-838）