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公司基本資料信息
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| 成分 | 高純氦氣 | 單位 | |
| 氦氣 |
≥
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99.999% | %V |
| 氖氣 |
≤
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4 | ppmv |
| 氫氣 |
≤
|
1 | ppmv |
| 氧氣 |
≤
|
1 | ppmv |
| 氮?dú)?/td> |
≤
|
2 | ppmv |
| 一氧化碳 |
≤
|
0.5 | ppmv |
| 二氧化碳 |
≤
|
0.5 | ppmv |
| 甲烷 |
≤
|
0.5 | ppmv |
| 水份 |
≤
|
3 | ppmv |
