產(chǎn)品描述：

最頂級(jí)的3D成像及測(cè)試系統(tǒng) （為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備，是表面量測(cè)領(lǐng)域的最佳選擇 ）

Zeta 3D光學(xué)輪廓儀可以對(duì)近乎所有材料和結(jié)構(gòu)的樣品進(jìn)行測(cè)試, 從低反射率高粗糙度的太陽(yáng)能電池片到高精密拋光的磁盤介質(zhì)，甚至包括高縱橫比結(jié)構(gòu)的微機(jī)械部件和多層結(jié)構(gòu)的微流體其器件。 

Zeta強(qiáng)大的研發(fā)能力還提供特種應(yīng)用的設(shè)備定制服務(wù)，精密的光學(xué)測(cè)試系統(tǒng)和靈活自動(dòng)的測(cè)試軟件包讓用戶的測(cè)試工作變得更加靈活簡(jiǎn)單。

特點(diǎn)：

多功能光學(xué)測(cè)試模組

Zeta-300測(cè)試系統(tǒng)提供多種光學(xué)測(cè)試技術(shù)， 滿足用戶各種領(lǐng)域的測(cè)試需求： 

zdot  TM Z點(diǎn)陣專利3維成像技術(shù)，是Zeta所有系列產(chǎn)品的標(biāo)配技術(shù) 

ZIC 干涉反襯成像技術(shù)，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)粗糙度表面的成像及量化分析 

ZSI白光差分干涉技術(shù)，搭配任意物鏡實(shí)現(xiàn)Z方向超高分辨率的測(cè)量能力 

Zx5白光干涉技術(shù)。保證Z方向高分辨率測(cè)量的同時(shí)，提供大視野范圍內(nèi)的測(cè)量和統(tǒng)計(jì)分析 

測(cè)試速度快

1分鐘內(nèi)完成所有類型樣品的3D掃描成像及統(tǒng)計(jì)分析，其超高的分辨能力甚至可以對(duì)納米級(jí)的缺陷進(jìn)行成像。 

操作簡(jiǎn)單

自動(dòng)化測(cè)試程序，一鍵式操作過程，測(cè)試菜單設(shè)置簡(jiǎn)單，30分鐘培訓(xùn)速成，結(jié)果輸出直觀。

功能強(qiáng)大

支持Zeta所有的測(cè)試技術(shù)，滿足用戶對(duì)不同樣品的測(cè)試需求，包括Zeta現(xiàn)有的光學(xué)輪廓測(cè)試技術(shù)、粗糙度和臺(tái)階高度測(cè)試技術(shù)等。 

應(yīng)用領(lǐng)域：

Zeta-300 測(cè)試系統(tǒng)支持多功能測(cè)試選項(xiàng)，根據(jù)客戶實(shí)際需求可配備自動(dòng)化機(jī)械手臂、全自動(dòng)分析軟件等。高精度和高重復(fù)性的設(shè)備性能是科研和工業(yè)生產(chǎn)最理想的選擇。如下為實(shí)際應(yīng)用舉例： 

LED,PSS&缺陷監(jiān)控

PSS和PR的圖案高度、寬度和周期 AOI缺陷測(cè)試，包括平片、PSS片、PR片、外延片 2寸、 4寸和6寸吸真空載臺(tái) 

微流體和MEMS器件結(jié)構(gòu)分析

透明或半透明的多層結(jié)構(gòu)分析 高縱橫比結(jié)構(gòu)分析，如深溝壑、深井狀結(jié)構(gòu)等 靈活的測(cè)試工具，如cursors 和cross-sections 

自動(dòng)化測(cè)試軟件包

·多點(diǎn)自動(dòng)序列量測(cè) 

·多種不同視場(chǎng)的三維成像 

·自動(dòng)圖像掃描及拼接 

·自動(dòng)傾斜度及及波度補(bǔ)償 

·自動(dòng)參考面放平自動(dòng)高度、尺寸、角度和面積測(cè)量。 

光學(xué)參數(shù)

5x 10x 20x 50x 100x 

N.A. 0.15 0.3 0.45 0.80 0.90 

FOV(μm)1 1894x1420 944x708 468x351 189x142 93x70 

FOV(μm)2 4697x3522 2327x1745 1169x877 466x349 234x175 

技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品尺寸(mm)

系統(tǒng) (長(zhǎng)X寬X高)：510x725x773 

主機(jī)：381x457x102 

顯示器：596x449x240 

總重量：145lbs/65 kg 

操作規(guī)范

電壓: 100 - 230 VAC 

電流: 4A 

工作溫度: 18-30oC，非冷凝，±1℃ 每小時(shí) 

性能配置 

3D 成像: ~ 1 秒/點(diǎn) (ZiC) ~ 10 秒/點(diǎn) (ZSi) ~ 25 秒/點(diǎn) (ZDot) 

像素分辨率: 0.09 μm (0.5x耦合鏡配合100x物鏡) 

最小Z軸步距: 2 nm (壓電陶瓷載臺(tái)) 13 nm (Z軸精密絲杠傳動(dòng)) 

Z軸分辨率： 0.5?(ZSi) 

13 nm (Zdot) 

重復(fù)性3： 7 nm (1σ) 

系統(tǒng)配置 

相機(jī)選項(xiàng)： 640x480, 1024x768, 1280x960 

總放大率： 35,000x (光學(xué)和數(shù)字放大) 

系統(tǒng)光源： 3個(gè)大功率白光LED 

自動(dòng)載臺(tái)： 150mm x 150mm (XY 方向) 

Z軸測(cè)試范圍： 40mm 

衡鵬另外供應(yīng)：

GOOT 交易信息.goot-china.免費(fèi)信息     固特：電烙鐵、烙鐵頭、助焊膏、吸錫線、吸錫泵、錫爐、熱熔膠槍、錫線、鑷子、清潔球、剝線鉗、剪鉗、焊嘴溫度計(jì)、SMT返修、焊接機(jī)器人、電焊臺(tái)

MK 交易信息.hapoin.免費(fèi)信息           剝皮機(jī)、剝皮器 、除震器、壓接機(jī)

田村 tamurash            錫膏、助焊劑、 回流系統(tǒng)、氮?dú)猱a(chǎn)生器、波峰焊、回流焊、回收系統(tǒng)、清洗劑、凈涂劑

mal免費(fèi)信息 mal免費(fèi)信息-信息發(fā)布.免費(fèi)信息    馬康：錫膏粘度計(jì)、錫膏攪拌機(jī)、印刷檢測(cè)儀、測(cè)試儀、測(cè)定器 、回流爐裝置、 助焊劑控制儀、比重計(jì)、測(cè)定系統(tǒng)、溫度分析程序、模擬裝置

日本造研 zouken      切斷機(jī)、送線機(jī)、切脫機(jī)、加熱器

日本弘輝 ko-ki              選擇性波峰焊

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