電極數(shù)量：12支；
整機(jī)功率：7.2KW；
升溫速率：200℃/Second；
降溫速率：30秒(1000℃ → 400℃)；
最高溫度：1100℃；
溫度精度：+/- 1℃；
最大樣品尺寸：4英寸；
氣氛環(huán)境：真空、氣體（氮?dú)狻�氬氣、氧氣）、空氣�?br /> 真空系統(tǒng)：可根據(jù)實(shí)際需要選配無(wú)油機(jī)型泵或者分子泵

應(yīng)用領(lǐng)域：
-快速熱退火 
 - 快速熱氧化 
- 快速熱氮化
 - 硅化 
- 擴(kuò)散 
- 化合物半導(dǎo)體退火 
- 離子注入后退火
- 電極合金化
- 晶向化和堅(jiān)化 
- 合金熔點(diǎn)分析;
- 薄膜沉積;  等等…

欲了解更多關(guān)于RTP快速退火爐的詳情可致電：138 3718 9935