純水消毒用臭氧發生器產生的臭氧與水混合后形成的臭氧水溶液具有很強的殺菌作用。它能夠迅速廣泛地殺滅多種微生物和致病菌。臭氧水濃度達到2mg/L時，即可將大腸桿菌、金黃色葡萄球菌、細菌的芽孢、黑曲霉、酵母等微生物殺死。

純水消毒用臭氧發生器主要有兩種，空氣源臭氧機是經壓縮、冷凝、過濾、干燥等預處理凈化后，進入高壓放電管，在高壓放電環境中，空氣中部分氧分子激發分解成氧原子，氧原子與氧原子（或氧原子與氧分子）結合生成臭氧。

純水消毒用臭氧發生器：一種是經純氧作氣源，經三級除濕干燥采用進口分子篩提純到90%氧氣后進入放電管中，產生臭氧氣體，氧氣源程發生器產生的臭氧濃度高、純凈、無噪聲，無氮氣化物。裝飲用水中，臭氧投加工藝對殺菌效果影響很大。臭氧最大的優勢是沒有殘留，主要原因是臭氧能自動分解。最后分解的產物是對人體有益的氧氣和水。臭氧與水混合后到灌裝前的控制臭氧與純凈水混合后在水中的半衰期主要取決于水溫，水溫高則半衰期短；水溫低則半衰期長。一般在15-40min之間。

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