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序 號
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項 目
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規 格 參 數
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數量或要求
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備 注
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2.1
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機架單元
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1套
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2.2
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載臺及夾具單元
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1套
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2.3
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控制單元
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1套
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2.4
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操作界面單元
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1套
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2.5
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安全保護單元
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1套
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2.6
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真空腔體單元
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1套
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序 號
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項 目
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規格參數
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數量或要求
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備 注
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3.1
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Panel & Glass
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1)適用尺寸:0-9.7inch;
2)厚度:≥1mm;
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可根據客戶要求訂制
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3.2
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OCA
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厚度:5-175um
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