基本功能:SZT-C型四探針測試臺,是用來裝夾四探針探頭,連接四探針測試儀器,放置樣品,進行手動方式測試的機具。是四探針法測試電阻率/方塊電阻(方阻)儀器的配套測量裝置(以下簡稱測試臺)。
基本組成:主要有載物臺(180mmX180mm凈載物面積)、雙軌垂直導向單元、測試壓力調節單元、探頭快速升降扳手(頂部戴紅套部分)、探頭連接板等單元。
配套與兼容:本測試臺可選配本公司所有型號的四探針測試探頭,包括鎢針四探針探頭(測試硬質樣品用),鍍金合金探頭(測試柔性薄膜或涂層方阻專用);本測試臺兼容本公司所有四探針測試儀器。本測試臺加配本公司探頭,可兼容國內同行絕大多數四探針電阻率/方阻測試儀器。
二、可測半導體材料尺寸 (探頭手持方式不限)
直徑或邊長:SZT-C測試臺直接測試方式 Φ15~180mm,或180mm×180mm。
長(或高)度: 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
三 、使用方法
3.1 放置樣品:將測試臺上部操作扳手向上向后、向上升起測試臺探頭,如圖2.1,將樣品放在探頭下方測試臺板上,然后將測試臺上部操作扳手向前向下,壓下探頭。
3.2壓力調整:在探頭壓下的狀態下,可根據樣品厚度及壓力要求,調節測試臺導軌支架中部螺桿上的螺母(先松開鎖緊螺帽),觀察探頭探針壓下程度,調節測試壓力!(彈簧壓縮量0~20mm,對應探頭壓力0~2.0K公斤),調好后,鎖緊鎖緊螺帽。
對于ST2253-F01鎢針探頭,探頭探針探針縮進量0~4mm,對應探頭壓力0~2.0K公斤
對于ST2558B-F01薄膜方阻探頭,探頭探針探針縮進量0~4mm,對應探頭壓力0~400克!
調好后,松開手,壓力會自動保持。
3.3 測好后,抬起探頭,移動樣片或移開!