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公司基本資料信息
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一 、功能與結(jié)構(gòu)特征概述
基本功能:SZT-B型四探針電動(dòng)測(cè)試臺(tái),是用來裝夾四探針探頭,連接四探針測(cè)試儀器,放置樣品,進(jìn)行自動(dòng)/手動(dòng)方式測(cè)試樣品電阻率/方阻的機(jī)具。是四探針法測(cè)試電阻率/方電儀器的配套測(cè)量裝置(以下簡(jiǎn)稱測(cè)試臺(tái))。
基本組成:本測(cè)試臺(tái)由底盤支架、控制盒、升降成套機(jī)構(gòu)、壓力檢測(cè)機(jī)構(gòu)、步進(jìn)電機(jī)傳動(dòng)系統(tǒng)、電源等主要單元組成。
配套與兼容:本測(cè)試臺(tái)可裝配本公司所有型號(hào)的四探針測(cè)試探頭,包括鎢針?biāo)奶结樚筋^(測(cè)試硬質(zhì)樣品用),鍍金合金探頭(測(cè)試柔性薄膜或涂層方阻專用);本測(cè)試臺(tái)兼容本公司所有四探針測(cè)試儀器。本測(cè)試臺(tái)加配本公司探頭,可兼容國(guó)內(nèi)同行絕大多數(shù)四探針電阻率/方阻測(cè)試儀器。
優(yōu)勢(shì)特征:本測(cè)試臺(tái)探頭升降具有自動(dòng)/手動(dòng)一體化功能、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、測(cè)量簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。由于是自動(dòng)控制探頭行程和壓力,特別適用于初次接觸此類儀器,對(duì)測(cè)試壓力難以手工掌握,易損壞樣品的場(chǎng)合。
二、技術(shù)參數(shù)
1. 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸(探頭手持方式不限)
直 徑: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,其他方式不限.
長(zhǎng)(或高)度: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
2. 測(cè)量方位
軸向、徑向均可
3. 配四探針測(cè)試探頭:
⑴探頭種類:不限
⑵壓 力:
對(duì)于ST2253-F01鎢針探頭,探針縮進(jìn)量0~4mm,對(duì)應(yīng)壓力0~2.0K公斤,額定1.5kg
對(duì)于ST2558B-F01薄膜方阻探頭,探針縮進(jìn)量0~4mm,對(duì)應(yīng)壓力0~400克!額定300g
4. 電源:
功 耗:< 15W;輸入:220V±10% 50Hz
5. 外形尺寸:
測(cè)試臺(tái) 380mm(長(zhǎng))×245 mm(寬)×350mm(高)
凈重:4.5Kg