光路系統由X射線光束狹縫、樣品架、衍射光束狹縫、探測器及防護罩五部分組成。
X射線光束狹縫是由防護環、梭拉狹縫、發射狹縫組成。防護環的圓環與X光管套窗口緊密相連,起著防止X射線散射作用。
梭拉狹縫是用來限制X光垂直發散度的,入射端的梭拉狹縫放在管套上。
發散狹縫也是插板式的。用途是限制投射到樣品表面初級X射線的水平發散度,共有1/6
o、1/2
o、1
o、2
o四種。發散狹縫的選擇應根據X射線強度,分辨率和掃描范圍來選擇。如果增大發散狹縫,衍射線向低角度方向移動,對稱性變壞,分辨率降低,X線強度增加。
發散狹縫的大小,與照射樣品表面的最小θd角度值如下:
狹縫值
1/6o
1/2o
1o
2o
4o
θd
3o14′
9o42′
19o36′
50o60′
84o28′
衍射儀測角儀的樣品臺,用錐度1:20錐孔與測角儀主軸聯接。備有樣品板,這些樣品板開有20mm×16mm大小的口供壓裝樣品用。每塊樣品板的基面都經過人工的精研磨加工,其基面不平誤差不大于0.005mm,保證了壓裝樣品后使樣品表面與測角儀主軸共面,工作時保證了衍射的聚焦條件。
衍射光束狹縫由散射狹縫、梭拉狹縫和接收狹縫組成。散射狹縫用來控制樣品衍射線的水平發散度,共備有1/6o、1/2o、1o、2o、4o五種。散射狹縫用來減少非相干散射及本底等因素造成的背景,使探測器只接收樣品表面的輻射,提高峰背比。
發散狹縫和散射狹縫配對使用,即選同樣的角度數值。
衍射端的梭位狹縫同入射端的梭位狹縫功能相同,其技術數據相同。
防護罩是用來保證X射線衍射儀操作人員安全工作的,使操作人員不受X射線及散射線傷害。本衍射儀還配有全封閉鉛玻璃防護罩。