沈陽電子工業(yè)超純水設(shè)備

主要用途：
　　微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用高純水，半導(dǎo)體、顯象管制造業(yè)用超純水，集成電路板生產(chǎn)清洗用超純水，蓄電池、鋰電池、太陽能電池、干電池等生產(chǎn)用水。
 1.電子工業(yè)超純水概述   電子工業(yè)超純水設(shè)備,超純水設(shè)備,多晶硅超純水設(shè)備
    半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。

2.制備電子工業(yè)超純水的工藝流程
電子工業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下3種：
　　 1、采用離子交換樹脂制備電子工業(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
　　 2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合制備電子工業(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
　　 3、采用反滲透設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配制備電子工業(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿�巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原�?rarr;多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設(shè)備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點  

3.EDI結(jié)構(gòu)和工作原理  電子工業(yè)超純水設(shè)備,超純水設(shè)備,多晶硅超純水設(shè)備

EDI常與RO連用, 構(gòu)成RO-EDI純水系統(tǒng)。如上所述，EDI已設(shè)計成標(biāo)準(zhǔn)模塊，EDI單元就是由若干模塊組合而成。每個EDI模塊結(jié)構(gòu)如圖 1 所示, 有數(shù)個雙腔室夾在兩個電極(加直流電) 之間，呈層疊式板框結(jié)構(gòu)；雙腔室包括淡水腔(用D表示) 和濃水腔(用C表示)；二腔之間隔以一對陰、陽離子膜(亦稱陰向膜或陽向膜) ，陰、陽膜間裝填陰陽樹脂混合床構(gòu)成D室；該陰、陽膜分別與另一D室中的陽、陰膜間構(gòu)成C室。

進(jìn)水按一定比例通過C室和D室。離子在D 室的行為可以理解為四個過程：

①離子在電場作用下向濃水室遷移；

②離子與樹脂的結(jié)合；

③水的電離和遷移, 遷移到C室中的H+ 和OH- 離子又結(jié)合成水；

④由于電場作用，離子不斷從樹脂上離解, 使樹脂不斷再生。

與普通混床不同之處在于, 進(jìn)入D室中的陰、陽離子先是與樹脂結(jié)合, 而后在直流電場作用下從樹脂上不斷離解, 分別通過陰、陽膜向陽極和陰極移動, 樹脂同時得以再生。由于上述平衡作用, 在水流方向上形成濃度梯度, 可根據(jù)進(jìn)水情況和出水要求調(diào)節(jié)電流(電壓) 大小, 使流出的水為不含陰、陽離子的純水; 由于膜對陰、陽離子的選擇通透性, 進(jìn)入C室的離子不能通過另一極膜而在C室濃縮。

典型的EDI系統(tǒng)中, 90%～ 95% 的進(jìn)水是通過D腔的, 5%～ 10% 的進(jìn)水通過C腔。為了防止結(jié)垢, 濃水用泵強制循環(huán), 高速通過膜面。濃水部分排放; 排放的濃水可返回RO再處理。

電子工業(yè)超純水設(shè)備,超純水設(shè)備,多晶硅超純水設(shè)備
4.電子工業(yè)超純水設(shè)備特點
     電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人值守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。  

5.電子工業(yè)超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
     1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水；
　　 2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水；
　　 3、實驗室和中試車間用超純水；
　　 4、汽車、家電表面拋光處理；
　　 5、光電子產(chǎn)品；
　　 6、其他高科技精微產(chǎn)品；