真空電容器MEIVAC的特征是
高耐電壓 真空的耐電壓高，易于實現(xiàn)小型化；
低損失 可以適用于高RF頻率；
大電流通電 無整流子結(jié)構(gòu)形式，適合大電流；
高信賴性 具有自我恢復性，可以承受瞬間過電壓；

規(guī)格
形式 SCV-155M SCV-510M SCV-514M
高峰試驗電壓 [kVp] 15 5 5
靜電容量[pF] 50-500 50-1000 90-1400
RF動作電壓 [kVp] 9a 3 3
直線可變性 (pF/N) 42±4
(65pF 以上) 88±6
(80pF 以上) 115±8
(150pF 以上)
轉(zhuǎn)速（回） 12±1 12±1 12±1
最大容許電流 [Arms]
(at 13.56MHz) 100 100 100
回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩（N?cm）
(kgf?cm) 24.5
2.5 24.5
2.5 24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長度×直徑） (mm)
 1.3
140×φ73 1.35
140×φ73 1.4
140×φ73

真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列，是基于明電舍的真空技術(shù)而開發(fā)的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導體薄膜制造設備的阻抗整合器
2 通信器材的發(fā)報線路，同調(diào)回路
3 誘電加熱設備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來，由于半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，真空電容器的用途擴大至CVD，蝕刻，滴濺設備等半導體薄膜制造設備阻抗整合應用領域。
 
真空可變電容器
真空可變電容器是通過移動真空容器內(nèi)的電極而實現(xiàn)靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標準的型號，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號，同時通過風箱構(gòu)造以及增強材質(zhì)的大電流低扭矩型（H系列）。

標準型特點
1 壽命長
  采用高強度的不銹鋼風箱，實現(xiàn)可變范圍二分之一以下的風箱壽命達100萬循環(huán)。同時通過高強度特殊螺釘構(gòu)造，在可變范圍二分之一的情況下實現(xiàn)總回轉(zhuǎn)數(shù)1000萬以上的長壽命。
2微型化
  陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實現(xiàn)。
  統(tǒng)一設為全長140MM（裝置標準115MM），容易實現(xiàn)機器安裝時的可更換性。
 
強電流低扭矩型特點
    強電流通電
    風扇采用銅合金新材料，可以實現(xiàn)強電流通電。（強電流規(guī)格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、
160Arms)
    低扭矩
    H系列內(nèi)部構(gòu)造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驅(qū)動馬達的微型化得以實現(xiàn)。
    長壽命
    采用高強度不銹鋼風箱，通過可變范圍二分之一以下的風箱壽命100萬回轉(zhuǎn)，以及高強度特殊螺釘構(gòu)造，能夠?qū)崿F(xiàn)可變范圍二分之一的總回轉(zhuǎn)達到1500萬以上的超長壽命。
 
明電舍(MEIDENSHA)真空固定電容器
 
真空固定電容器的誘導體為真空，使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體，極大的抑制了損耗系數(shù)。從而使電容器即實現(xiàn)了微型化，又能耐高壓和承受強大電流。
特點
  耐高壓
  由于絕緣體是真空，絕緣體能承受很高的電壓，即使在高電壓回路中也安然無恙。
  低損耗
  真空誘電體能極大降低損耗。誘電體的損害只出現(xiàn)在構(gòu)成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導航用陶瓷。
  微型化
  通過采用耐高壓的特殊電極實現(xiàn)微型化。

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