產(chǎn)品品牌：鼎森騰業(yè)

產(chǎn)品型號(hào)：*

透明導(dǎo)電玻璃（Transparent Conductive Oxide, TCO）是在平板玻璃表面通過(guò)物理或者化學(xué)鍍膜的方法均勻的鍍上一層透明的導(dǎo)電氧化物薄膜。氧化物包括CdO, ZnO, ZnO: M ( M =Al, Ga, In, F), ITO, FTO, Sb-SnO 2 (ATO)等。TCO有兩個(gè)主要指標(biāo)：一是對(duì)可見(jiàn)光的高透過(guò)率(T avg >80%),另一個(gè)是高的導(dǎo)電率(R <10 -3 Ω·cm)。

　　透明導(dǎo)電氧化物的制備方法很多，目前有磁控濺射、金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積、噴霧熱解、脈沖激光沉積、溶膠-凝膠法等。目前，效果最佳方法是（射頻）磁控濺射，該工藝已經(jīng)成熟，并用于ITO薄膜的商業(yè)化生產(chǎn)，但由于設(shè)備和靶材等價(jià)格較高，且不利于制備大面積的導(dǎo)電薄膜。成本更低廉的化學(xué)制備方法是未來(lái)透明導(dǎo)電氧化物玻璃的制備工藝的改進(jìn)方向。

　　透明導(dǎo)電氧化物最早出現(xiàn)于20世紀(jì)初,但直到1950年前后出現(xiàn)了氧化基和氧化銦基薄膜后,透明導(dǎo)電玻璃才開(kāi)始得到廣泛應(yīng)用。目前主要的應(yīng)用領(lǐng)域有平面液晶顯示（LCD）、電致發(fā)光顯示（ELD）、電致彩色顯示（ECD）、太陽(yáng)能電池透明電極；由于它對(duì)光波的選擇性（對(duì)可見(jiàn)光的投射和對(duì)紅外光的反射）而用作熱反射鏡，用于北方寒冷地區(qū)的建筑玻璃窗起熱屏蔽作用，節(jié)省能源消耗。還可用作透明表面發(fā)熱器，在汽車(chē)、飛機(jī)等交通工具的玻璃窗上形成防霧除霜玻璃。另外，柔性襯底的TCO薄膜的開(kāi)發(fā)使它的潛在用途擴(kuò)大到制造柔性發(fā)光器件、塑料液晶顯示器、可折疊太陽(yáng)能電池以及作為保溫材料用于塑料大棚、玻璃粘貼膜等。

　　導(dǎo)電薄膜的導(dǎo)電原理是在原本導(dǎo)電能力很弱的本征半導(dǎo)體中摻入微量的其他元素，就會(huì)使半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能發(fā)生顯著變化。這些微量元素被稱(chēng)為雜質(zhì)，摻雜后的半導(dǎo)體稱(chēng)為雜質(zhì)半導(dǎo)體。氧化銦錫（ITO）透明導(dǎo)電玻璃就是將錫元素?fù)饺氲窖趸�銦中，提高�?dǎo)電率，它的性能（主要包括電導(dǎo)率、可見(jiàn)光透過(guò)率）在目前是最好的，也被廣泛用于我們?nèi)粘Ｊ褂玫母黝?lèi)平板顯示器的制作。ITO薄膜有復(fù)雜的立方鐵錳礦結(jié)構(gòu)，最低電阻率達(dá)10 -5 Ω . cm量級(jí)，可見(jiàn)光譜范圍內(nèi)平均光透射率90%以上。但是，由于銦為稀散元素，在自然界中貯存量少，價(jià)格較高，而且ITO應(yīng)用于太陽(yáng)能電池中時(shí)在等離子體中不夠穩(wěn)定，其他種類(lèi)的透明導(dǎo)電氧化物的研究也就成為了一個(gè)研究熱點(diǎn)。這方面氧化鋅基薄膜的研究進(jìn)展迅速，材料性能已可與ITO相比擬，結(jié)構(gòu)為六方纖鋅礦型。其中鋁摻雜的氧化鋅（AZO）薄膜研究較為廣泛，它的突出優(yōu)勢(shì)是原料易得，制造成本低廉，無(wú)毒，易于實(shí)現(xiàn)摻雜，且在等離子體中穩(wěn)定性好，因而有可能成為ITO的替代產(chǎn)品，尤其是在太陽(yáng)能電池透明電極領(lǐng)域。另外，多元復(fù)合氧化物如鈣鈦礦相的BaSnO 3 , SrSnO 3也是TCO薄膜的一個(gè)研究方向。