產(chǎn)品品牌:鼎森騰業(yè)
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透明導(dǎo)電玻璃(Transparent Conductive Oxide, TCO)是在平板玻璃表面通過物理或者化學(xué)鍍膜的方法均勻的鍍上一層透明的導(dǎo)電氧化物薄膜。氧化物包括CdO, ZnO, ZnO: M ( M =Al, Ga, In, F), ITO, FTO, Sb-SnO 2 (ATO)等。TCO有兩個(gè)主要指標(biāo):一是對可見光的高透過率(T avg >80%),另一個(gè)是高的導(dǎo)電率(R <10 -3 Ω·cm)。
透明導(dǎo)電氧化物的制備方法很多,目前有磁控濺射、金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積、噴霧熱解、脈沖激光沉積、溶膠-凝膠法等。目前,效果最佳方法是(射頻)磁控濺射,該工藝已經(jīng)成熟,并用于ITO薄膜的商業(yè)化生產(chǎn),但由于設(shè)備和靶材等價(jià)格較高,且不利于制備大面積的導(dǎo)電薄膜。成本更低廉的化學(xué)制備方法是未來透明導(dǎo)電氧化物玻璃的制備工藝的改進(jìn)方向。
透明導(dǎo)電氧化物最早出現(xiàn)于20世紀(jì)初,但直到1950年前后出現(xiàn)了氧化基和氧化銦基薄膜后,透明導(dǎo)電玻璃才開始得到廣泛應(yīng)用。目前主要的應(yīng)用領(lǐng)域有平面液晶顯示(LCD)、電致發(fā)光顯示(ELD)、電致彩色顯示(ECD)、太陽能電池透明電極;由于它對光波的選擇性(對可見光的投射和對紅外光的反射)而用作熱反射鏡,用于北方寒冷地區(qū)的建筑玻璃窗起熱屏蔽作用,節(jié)省能源消耗。還可用作透明表面發(fā)熱器,在汽車、飛機(jī)等交通工具的玻璃窗上形成防霧除霜玻璃。另外,柔性襯底的TCO薄膜的開發(fā)使它的潛在用途擴(kuò)大到制造柔性發(fā)光器件、塑料液晶顯示器、可折疊太陽能電池以及作為保溫材料用于塑料大棚、玻璃粘貼膜等。
導(dǎo)電薄膜的導(dǎo)電原理是在原本導(dǎo)電能力很弱的本征半導(dǎo)體中摻入微量的其他元素,就會使半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能發(fā)生顯著變化。這些微量元素被稱為雜質(zhì),摻雜后的半導(dǎo)體稱為雜質(zhì)半導(dǎo)體。氧化銦錫(ITO)透明導(dǎo)電玻璃就是將錫元素?fù)饺氲窖趸熤校岣邔?dǎo)電率,它的性能(主要包括電導(dǎo)率、可見光透過率)在目前是最好的,也被廣泛用于我們?nèi)粘J褂玫母黝惼桨屣@示器的制作。ITO薄膜有復(fù)雜的立方鐵錳礦結(jié)構(gòu),最低電阻率達(dá)10 -5 Ω . cm量級,可見光譜范圍內(nèi)平均光透射率90%以上。但是,由于銦為稀散元素,在自然界中貯存量少,價(jià)格較高,而且ITO應(yīng)用于太陽能電池中時(shí)在等離子體中不夠穩(wěn)定,其他種類的透明導(dǎo)電氧化物的研究也就成為了一個(gè)研究熱點(diǎn)。這方面氧化鋅基薄膜的研究進(jìn)展迅速,材料性能已可與ITO相比擬,結(jié)構(gòu)為六方纖鋅礦型。其中鋁摻雜的氧化鋅(AZO)薄膜研究較為廣泛,它的突出優(yōu)勢是原料易得,制造成本低廉,無毒,易于實(shí)現(xiàn)摻雜,且在等離子體中穩(wěn)定性好,因而有可能成為ITO的替代產(chǎn)品,尤其是在太陽能電池透明電極領(lǐng)域。另外,多元復(fù)合氧化物如鈣鈦礦相的BaSnO 3 , SrSnO 3也是TCO薄膜的一個(gè)研究方向。