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《真空閘閥資料》包括專利技術全文資料13份。
0001)超高真空閘板閥

0002)半導體處理系統用閘閥及真空容器

0003)一種超高真空手、氣動閘板閥

0004)真空設備的閘閥裝置

0005)真空設備的閘閥裝置

0006)超高真空閘板閥密封裝置

0007)具有防反吸功能的真空閘閥

0008)一種超高真空手、氣動閘板閥密封裝置

0009)真空閘閥

0010)具有翼板元件的真空閘閥

(1007197(*)真空裝置用閘閥
(1007197(*)真空閘閥
(1007197(*)雙作用式高真空閘閥


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